玻璃平面度測量儀�(guī)格參�(shù)�
測量行程�300x200x150mm
測頭精度�<0.5μm
測頭型號:S/T
XY軸精度:E2=(3+L/200)μm
XY軸重�(fù)性:<3μm
Z軸精度:E1=(3+L/200)μm
Z軸重�(fù)性:<3μm
X、Y軸加速度�0-250mm/s^2
Z軸加速度�0-110mm/s^2
X、Y軸速度�0-150mm/s
Z軸速度�0-50mm/s
� �(xué) 尺:1μm(0.5μm可選)
A�
�(zhuǎn)動范圍:360°
大速度 �25°/s
� � 率:0.00125°
� 度:<0.005°
� �(zhì):硬鋁合�
臺面承重�30kg
底座材質(zhì):花崗巖
整機尺寸�620x790x875mm
整機重量�180kg
控制方式:半閉環(huán)
電源供給�110V�220V±10% 50/60HZ
�(huán)境溫度:20�
�(huán)境濕度:45%�75% |