電子薄膜�(yīng)力分布測(cè)試儀�(chǎn)品簡(jiǎn)介:
該產(chǎn)品主要應(yīng)用在微電�、光電子生產(chǎn)線上和科研、教�(xué)等領(lǐng)域Si、Ge、GaAs等半�(dǎo)體基片及電子薄膜�(yīng)力分布、光�(xué)零件面形和平整度面形� 基片曲率半徑�(cè)量測(cè)�。該儀器總�(cè)量點(diǎn)�(shù)多,能給出場(chǎng)面型分布�(jié)�,適合于微電子生�(chǎn)線上�(chǎn)量的快速檢�(yàn)和微電子生產(chǎn)研究�
儀器基于干涉計(jì)量的�(chǎng)�(cè)試原�,可�(shí)�(shí)觀�(cè)面型的分布,迅速了解被�(cè)樣品的形貌及�(yīng)力集中位置,及時(shí)淘汰早期失效�(chǎn)��
電子薄膜�(yīng)力分布測(cè)試儀功能特點(diǎn)�
1.�(jì)算機(jī)自動(dòng)條紋處理
3.�(cè)試過程自�(dòng)
4.曲面�(bǔ)償測(cè)試原�
電子薄膜�(yīng)力分布測(cè)試儀參數(shù)�
樣品尺寸�≤100mm (4英寸)
曲率范圍:|R|≥5�
�(cè)試精度:5%
單片�(cè)量:3分鐘/�
�(jié)果類型:面形、曲率半�、應(yīng)力分�、公式表�、數(shù)�(jù)表格
圖形顯示:三維立體顯示、二維偽彩色顯示、單截面曲線顯示
� 源:AC 220V±10%, 50Hz±5%
大功耗:100W
外型尺寸�285×680×450mm
� 量:36kg |